真空设备的范围很广,但它们都有一个真空系统来抽走空气或气体,以获得真空室内部所需的真空条件。
一套完整的真空系统
一个真空室,通过管道和阀门与真空泵相连,加上一个真空测量装置,这就构成了最简单的真空系统。(如图1)。
当需要高真空时,需要在真空系统中增加一个高真空泵。此外,还需要在高真空泵的进口和出口处添加阀门,以便高真空泵能够分别保持真空。
如果高真空泵是油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返回到被抽容器中,通常在油扩散泵的入口处加一个挡板(如图2所示)。
根据需要,还可以在真空系统中增加除尘器、真空继电器规头、真空软连接管、真空泵入口放气阀等,从而构成一个比较完善的高真空系统。
在任何由两台或多台真空泵串联组成的真空系统中,低真空泵通常被称为前级泵,而最高真空泵被称为真空系统的主泵。被抽真空室的极限真空和工作真空是由主泵决定的。主泵入口处的阀门被称为主阀。
总而言之,一个较好的真空系统包括以下内容:
- 真空抽气。预级泵、主泵
- 真空阀
- 连接管道
- 真空测量装置
- 其他部件:挡板、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。