很多第一次使用真空炉的客户经常问抽真空时如何操作高温真空炉的真空泵,今天就带给大家一个简单的教程:
高温真空炉真空泵操作步骤
一 真空炉打开真空泵顺序
- 通电
- 打开前级泵(机械泵)
- 打开预抽阀
- 打开次阀、扩散泵开始预热。
- 前级泵抽真空 20Pa 以下,关闭预抽阀。
- 打开主阀,扩散泵开始抽炉内气体、机械泵抽扩散泵中气体。
- 达到设定真空度,烧结完成。
二. 真空炉关闭真空泵顺序
- 关闭主阀
- 关闭扩散泵(前级泵一直工作,给扩散泵教热,时间大约1小时)
- 关闭次阀
- 关闭前级泵(机械泵)
整个真空炉真空泵开关操作完成。