真空气氛烧结炉简介
真空气氛烧结炉配有真空系统,抽出炉膛内的空气后,充入经过脱氧脱水的高纯氮气,在氮气保护下对产品进行烧结。特别是生产高纯氮化硅微粉,可实现氮气与硅粉的充分完全反应,出粉率可达到92%。
真空气氛烧结炉特点:
1.陶瓷纤维炉膛,硅钼棒加热,最高温度可达到1600度。
2.根据加热区长度,可多温区控制,确保整个温场的均匀一致性。
3.炉底采用高强度氧化铝空心球砖,且设计有装料车轨道,可方便的把物料装入炉内。
4.双级旋片机械泵抽真空,真空度可达10Pa。
5.特殊的气路设计。高纯氮气经过脱氧脱水处理,经由气路进入炉体,再经延伸至炉膛的排气口排出,可确保氮气在炉膛内进行有效的循环。
6.滑道式炉胆设计,可方便的抽出检修。
可选配件:
1.氮化硅料盒。
2.氮化硅炉底衬板。
技术参数:
型号 | 加热区(3温区) | 温度 | 功率 | 电源 |
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BR-WYA-4412 | 400*400*1200 | 1600℃ | 60KW | 380V |
BR-WYA-6616 | 600*600*1600 | 1600℃ | 105KW | 380V |